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Sputterverfahren

  
     
  Zerstäubungsverfahren, Verfahren, bei dem die Kristallbausteine durch eine Kathodenzerstäubung im Vakuum erzeugt und aufgrund ihrer kinetischen Energie durch das Vakuum auf einem Substrat niedergeschlagen werden. Bei geeigneten Temperaturen können sich die Teilchen als einkristalline Schichten anordnen.  
 

 

 

  
 
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