epitaktisches (Epitaxie) Aufwachsen von kristallinen Schichten auf Flächen von kompakten Kristallen derselben Verbindung. Moderne Bauteile der Mikroelektronik oder Opto-Elektronik benützen meist nur aktive Schichtstrukturen für die entsprechenden Eigenschaften, die per Homoepitaxie auf eigene oder per Heteroepitaxie auf fremde, anderweitig gezüchtete Kristalle aufgebracht werden.